SMIF系统有三个主要部件：SMIF吊舱、SMIF活动臂以及带专用洁净空气供应的设备密闭罩。

SMIF吊舱是一个特别设计的密闭容器，它有两个特点：一个是密封出入口门的密封垫，另一个是完全包围晶片盒的活动衬里。衬里采用特殊性质的材料制成，可以提供一个特殊的局部环境并将对SMIF吊舱进行清洁的需要减至最小。盒中晶片的安全通过一个有效的止动器保证，止动器可自动缩回使晶片盒进出吊舱。

SMIF臂由特殊设计的机器人组成，它能完全将晶片盒自动取出和放置到设备的变址器上。这样，在晶片盒运送过程中，可使沉降在晶片上的粒子减至最少。对于各类加工设备的适应性，该系统具有通用晶片盒放置能力（到达高度和晶片盒的方位）。

SMIF密闭罩是一种硬质的屏障物，将工艺设备围在其中，类似一个小型的洁净岛，可以实现加工设备与外界环境的隔离。加工设备的隔离区可以达到优于1级的洁净环境（FFU中安装的是ULPA过滤器）。SMIF臂通过SMIF出入口为晶片盒进入隔离设备环境提供一种方式，并且没有来自外部环境的影响。SMIF密闭罩由FFU、结构框架和透明面板级成。