无尘车间中使用的“光散射气浮微粒测定仪”（简称微粒仪）有多种名称，例如光学粒子计数器、气载粒子计数器、离散粒子计数器、尘埃粒子计数器等，国内使用最多的是“尘埃粒子计数器”。其实，称为“尘埃粒子计数器”很不确切，因为“尘埃”一般不包括液体颗粒，而此仪器测得的颗粒数是固体和液体颗粒数的总和。“粒子”一般是指结构固定而微小的单元，例如分子、原子、质子、中子、电子等。此仪器一般测定的是分子的聚合体，也就是较小的“颗粒”，可以称为“微粒”。“计数器”顾名思义是计数的仪器，然而此仪器不仅可以计数，而且可以测定颗粒的大小，因此称为“光散射气浮微粒测定仪”比较合理，其理由如下：

原理是光散射；检测对象时悬浮在气体中的微粒；检测的参数是微粒的尺度和浓度。

光散射气浮微粒测定仪的原理是：光束遇到微粒会产生散射，散射光脉冲的个数对应微粒的个数，散射光脉冲的强度对应微粒的尺度。因此测定散射光脉冲个数就可以知道微粒的个数，测定散射光脉冲的强度就可以知道微粒的尺度，同时测定气体的流量就可以计算出气体中微粒的浓度。

结构

光散射气浮微粒测定仪的结构可以分为气流系统、光学系统、显示系统、电源系统四部分，其组成结构如下：

1）气流系统。包括：流量计，高效过滤器，抽气泵，气体管道等；

2）光学系统。包括：平行光源，散射腔，凹面镜，聚光镜等；

3）显示系统。包括：光电转换器，电子放大器，脉冲分析器等；

4）电源系统。包括：光速电源，抽气泵电源，显示系统电源等。