洁净室各部分工程的外观检查，是竣工验收工作的第一步。由建设方，承包商、工程监理部门组成验收小组对各项工程逐一检查。除观测外观、检查施工记录、核对设计图、变更图外，对一些调节设备的灵活性，可操作性应予以关注。外观检查工作均应有文字记录及参与人签字。

洁净室各项工程的外观检查应符合以下要求：

1）               各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定；

2）               高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封；

3）               各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便；

4）               净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘；

5）               洁净室的内墙面、顶棚表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘，地板无静电现象；

6）               送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明和动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时，穿越处的密封处理应严密可靠；

7）               洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线、管口应密封可靠；

8）               各种刷涂、保温工程应符合有关规定；