主要定义与术语

（1）       洁净室。我国国家标准《洁净厂房设计规范》（GB 50073-2001）将洁净室定义为“空气悬浮粒子溶度受控的房间”，并要求“它的建造和使用应减少室内诱人、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制”。这一定义与最新的ISO 14644国际标准的定义是一致。

（2）       洁净区。洁净区是指空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式

（3）       粒径。实际粒子大多不是标准的球形，所以通常所说的粒径是“由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径”。同一种粒子用不同的测定仪器方法测得的粒径是不一样的，所以在进行洁净室相关的粒子测定时应规定所使用的仪器和方法。

（4）       悬浮粒子。用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子是指尺寸范围在0.1~5um的固体和液体粒子。空气中实际悬浮粒子的粒径分布远超过此范围，但大于5um的粒子因很容易被除去，所以不在洁净度分级要考虑的范围内。另外，不要将粒子仅局限于固态的“粉尘”，液态粒子同样属于控制对象。

（5）       洁净度。洁净度就是以单位体积空气中悬浮粒子的数量来区分的洁净程度。以前习惯用英制单位—课/立方英尺（pc/ft³）,自国际标准颁布后，应采用国际单位制---颗/立方米（pc/m³）

（6）       单向流。是指沿单一方向呈平行流并且横断面上空气流速一致的气流。这种气流以前曾习惯称为“层流”，但由于它实际上并不是流体力学中所规定的“层流”，所以现在定义为“单向流”。根据工程中的应用方式可以包括垂直单向流和水平单向流。

（7）       非单向流。非单向流是指凡不符合单向流定义的其他气流流型。在实际工程中还可以将单向流和非单向流组合应用，称为“混合流”

（8）       空态。指洁净室设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。

（9）       静态。指洁净室设施已经建成，生产设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员状态

（10）   动态。动态是指设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作状态。

 规定洁净室的“状态”主要考虑到设计和竣工验收的需要，由于不同状态下实际的空气洁净度是不同的，所以业主及供应商必须预先商定验收状态。