我国的空气洁净技术起始于20世纪50年代中期，至今大致经历了四四个发展阶段：

1）  从20世纪50年代中期到60年代中期，主要借鉴前苏联的技术，服务于国防、航天、原子能工业与科研。与现代洁净技术相比，在厂房、设备、气流组织等各方面还都比较原始和粗糙，属于起步阶段。

2）  从20世纪60年代中期到70年代后期，由于国内外的种种原因，主要靠自力更生发展。当时参照了美国和日本的标准和技术，逐步研制成高效过滤器和纳焰法试验台、洁净工作台、粒子计数器、装配式洁净室及其他洁净室附属设备（风淋室、传递窗、余压阀等），编制了“空气洁净技术措施”，奠定了我国洁净技术的基础

3）  从20世纪70年代末到80年代末，由于实行了改革开放的国策，发达国家的技术与设备开始进入我国市场，现代洁净技术在我国的大规模集成电路、光导纤维、彩色显像管、液晶显示屏等工业洁净领域得到迅速发展，装备0.1um高效过滤器的10级洁净小室和无隔板过滤器研制成功。同时在医疗、制药、生物、化妆品与食品行业生物洁净室也得到应用，一些制药厂对原有空调系统的改造中开始采用生物洁净技术，简易的水平“单向流”洁净室和装配式无菌病房用于医院，生物安全工作台和细菌采样仪研制成功。1982年我国医药行业GMP公布，1983年中国电子学会洁净技术分会成立，1985年GBJ73-1984《洁净厂房设计规范》颁布，我国的洁净技术进入稳步发展阶段、

4）  20世纪80年代末至今，在大规模集成电路领域全面引进境外资金、技术与设备，形成一批知名的国际品牌企业，洁净室的规模越来越大，风机过滤机组（FFU）和微环境技术得到应用和推广。在医疗和制药领域洁净技术趋向成熟与规范，生物安全技术发展迅速。包括微环境、密褶型无隔板高效过滤器、微计算机控制过滤器性能测试台等洁净技术相关的技术设备基本可以实现国产，同时还开始了0.1um光刻机及相关环境的研制。