在无尘车间中不能使用一般的家用抹布，因为家用抹布所散发的粒子浓度、纤维含量、化学污染都很高，并会残留在其擦拭的表面上。

可用经过洗涤液或消毒液蘸湿的抹布擦拭无尘车间的表面以清除污染。抹布也可用来擦去无尘车间产品上的污染物，也可用来擦干溅出来的拖布液。

对抹布的选择要根据无尘车间内的污染情况而定。可以清除表面上所有污染的完美抹布是没有的，抹布的选择是质量 、成本等因素间的一种平衡，无尘车间用抹布与拖布的要求相近，选用时要注意以下几个方面：

（1）吸水性

抹布的吸水性是一个重要指标。抹布常常用来擦去洒的液体物质或进行类似的清洁工作，因此必须了解抹布的吸水性。既要了解其吸水量，也要了解其吸水速率。这种特性在污染控制中也是重要的，具有良好吸水性的抹布留着表面的污染比吸水性差的抹布少。如果用抹布擦拭无尘车间的表面后几乎没有留下液体的话，则留下的粒子也会要少。

（2）抹布造成的污染

无尘车间抹布是无尘车间内最脏的物品之一，一块抹布所含的粒子数量，可能是室内全部空气中所含粒子的很多倍。所以，必须选择粒子散发量低的抹布。另外还应注意抹布的边缘，抹布边缘粗糙易产生纤维和粒子的污染。

在抹布处于湿的状态时，抹布内的可溶物质可能会溶解。能够由水或溶液侵出的物质称为“侵出物”。用抹布擦拭时，这些“侵出物”有可能转移到所擦拭的表面。在半导体工业中应特别防范是金属离子“侵出物”，为此，通过检验抹布中“侵出物”的数量和类型，就可以确定最适合于某项具体工作的抹布。

（3）抹布的其他性能

应予以考虑的抹布的其他性能有：纺织品强度；耐磨性；静电（或抗静电）特性；抗菌性。

上述所有特性，美国环境科学与技术学会的推荐准则ISET-RP-CC004都有相应方法，可进行测试，以评定其性能。