洁净室是用经过三级过滤（初、中、高）的洁净空气来稀释室内被污染的空气或利用活塞效应应用洁净空气把被污染的空气挤压出洁净室的方法而达到不同洁净度的，因此洁净空调系统的风量是保证达到洁净度的关键。风量计算主要考虑以下因素：

1.非单向流洁净室一般适用于6，7, 8, 9级（也就是原美国联邦标准FS-209E的千级、万级、十万级），洁净度要求不高的洁净室是用稀释的方式来达到一定的洁净度，所需的风量相应较小，送风量的取值一般以每小时换气次数来决定，同时还需校核消除冷热负荷所需的送风量。

2.单向流的洁净室的风量是以洁净室断面气流流速来确定的。这里必须说明的是下限和上限的数值是一个合理的取值范围，要避免认为断面风速越高洁净度级别越高的观点。洁净度级别的高低还与高效过滤器的过滤效率有关，和过滤粒子的粒径有关，不要一味追求过高的断面风速和大风量。

3.洁净室工作区的气流流速还应满足生产工艺和室内工作人员健康的要求。

4.洁净室空调系统新风量的确定。洁净室空调系统的新风量是补偿洁净室内工艺排风的风量和维持正压值得风量之和，同时还要保证供给洁净室内每人每小时不小于40m³的新风量，经上述两项计算取最大值。但是这里必须强调洁净空调系统新风量的需求要比普通空调系统大，除了满足上述的要求外一定要严格控制新风量，因新风处理所需要的能耗很大，严格控制新风量是洁净空调系统的一项重要节能措施。