直接测量无尘车间的自净时间
如果能够把初始粒子浓度提升到所测无尘车间或洁净设施的洁净度等级的1000倍时,可以直接测量“100:1“自净时间。
为避免高浓度粒子对离散粒子计数器光学器件的潜在污染以及粒子重叠误差,在测试前应计算进行“100:1自净时间”测试要求的浓度,如果该浓度超过了所用离散粒子计数器最大允许粒子浓度(例如:Met One 2100型号激光粒子计数器≧0.1um档的最大允许粒子浓度为1.4×107pcs/m3)则宜把初始浓度降低到粒子计数器允许浓度以下,或者改用上述自净率测试方法为妥。
直接测量自净时间的程序如下:
将离散粒子计数器置于用户和供应商、承包商协商一致的测试点位置,一般测试采样点设在工作区平面的中心点位置,但不应直接在高效空气过滤器出风口下方。
此项测试中所选用的粒径档,应与测试洁净度等级所用的粒径档相一致,如果划分洁净度等级的是两个不同的粒径,则宜选用其中较小的粒径。从另外角度来看,为避免非等速采样,自净时间测试也最好用小于1um的粒径档。
为使无尘室或洁净设施的空气中,悬浮粒子浓度达到“100:1自净时间“的检测所需初始浓度,国外一般采用与高效空气过滤器现场检漏测试相同的气溶胶尘源和气溶胶发生器,形成洁净区悬浮粒子污染。国内较为普遍采用的方法是燃点巴兰香等类物资产生的人工尘。当洁净区设置多个测点时整个洁净区的自净时间可由公式计算出。
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