无尘车间内所有可能被污染的表面都应清洁，对于不同的表面应规定相应的清洁方法，以下介绍对无尘车间的一些典型表面清洁方法建议：

（1）地面和底层

先用真空吸尘方法把碎屑、纤维等大颗粒物清除掉。找出有顽固污斑、污痕的地方，用洗擦方法清除，再按预定的程序湿法拖擦地面，水或清洁溶液应频繁更换。

地面面积较大时，应划分为若干易于管理的区域，以有序的方式进行清洁，应先清洁关键区，再向一般区域行进。如果洁净级别较高，可重复拖擦程序。

清洁工作进行时，宜用临时警戒线围住工作区，标出临时交通方向，避免人滑倒。

湿洗/擦洗体系清洁后，可用湿法真空清洁清除掉地面的污痕。

（2）墙、门、回风格栅、窗及垂直表面

裸露在外的产品上风向的表面，绝不能在工作状态下清洁。只有在静态、产品撤出该区域或产品被覆盖后才能进行清洁工作。

应采用擦拭法或专用的托辊来清除污染，应依据要求的清洁度和所需清洁部位的构造来选定清洁方法。

（3）顶棚、散流器和灯具

工作区上风向侧的顶棚和其他装置不应在工作状态下清洁，只能在静态条件下进行。

散流器和顶棚格栅应小心的用潮湿清洁技术擦拭。有些散流器可能需要卸下来进行洗涤。灯具应在更换灯管时彻底擦拭。

（4）桌子和其他关键的水平表面

这些关键表面应采用上述的擦拭技术进行清洁，宜选用适当的清洁溶液辅助清除，还可用潮湿法去除污染。应采用单向行程，从最关键区向低关键区进行。

（5）无尘室的椅子、家具和梯子

从顶到底擦拭这些用品的表面，也包括坐垫、支撑和轮子。

（6）小车和轮车

小车、轮车应该仅限于进到无尘车间内的一般区域。其情节工作不应在任何关键区或气闸室内进行，一般采用真空吸尘器或擦拭方法清洁。或者两者兼用，用擦拭物和可接受的清洁溶液由顶部向下方进行清洁。

（7）横跨台、服装和用品柜、储物柜或其他储物空间的表面

储物空间应定期腾空，清洁内部。横跨台和储物柜等一般先用真空吸尘系统清洁，再擦拭。