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无尘车间的节能潜力

2014-12-19 12:18:22      点击:

无尘车间是能量消耗大户,这是因为:

1)要使用净化空调系统保持洁净生产环境所必需的空气洁净度等级、压差、温度、相对湿度等要求。

2)要使用通风换气装置,包括全室或局部的送、排风装置。无尘车间内应根据产品生产过程的要求排除生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等,防止污染和交叉污染,与此同时需向无尘车间内送入相应的或必需的室外新鲜空气。根据不同的空气洁净度等级的要求需要有一定的换气次数/送风量。

3)为进行正常的产品生产,无尘车间内的生产工艺设备需按产品的特点供应电力、纯气、纯水、高纯化学晶体等,这些也需要消耗大量的能源。伴随着电力等能量的消耗,在无尘车间内产生的各种形式的发热量还需要进行冷却,有时这种冷负荷量是不可忽略的。

无尘车间所需的净化空调系统与一般工业厂房或办公楼的冷空调系统相比,前者因空气洁净度等级和无尘车间内生产工艺要求的不同,冷负荷大约为2093~6280KJ/m2·h,而后者的冷负荷仅335~502kJ/m2·h)。半导体集成电路制造或生物医药产品的主要生产工序都要求在无尘车间内进行,为了保持相应的空气洁净度等级,需要将大量的空气通过高效过滤器后送入无尘车间内,办公楼的一般空调房间的换气次数为10/h以下,而大规模集成电路生产所需的5级(100级)、4级(10级)、3级(1级)无尘车间的换气次数可能达数百次,其送风量将会比一般空调系统大数十倍以致百倍以上,因此无尘车间的净化空调系统及其制冷机的耗电量比其他类型建筑物的一般空调系统及其制冷机的耗电量大得多。剧调查统计,大规模集成电路制造工厂无尘车间的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的50%左右,制药工厂无尘厂房的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的60%左右。

如上所诉,无尘车间的耗能量是很大的,若无尘车间设计时有精心、周密的规划,节约能源、降低能量消耗是可能的,节能的潜力是很大的,有关调查分析表明,即使空气洁净度等级相同的无尘车间,由于设计和设置配置的不同,能耗量可能相差50%以上。以下主要叙述目前国内外已在无尘车间中应用的或可能应用的一些降低能量消耗的技术措施。