围护结构及其他表面：

多年间来，随着建筑材料技术的进步，无尘车间墙面、地面、顶棚的产尘量日益降低；其表面平整光滑，并防静电，因此吸附、聚集尘粒的几率也在下降。无尘车间所使用设备、家具等的表面也都具有同样的性能，正常条件下不应产尘、积尘。但无尘车间各种表面依然存在由于人员的触摸被污染，或因生产过程中被污染空气所携带尘粒的沉降、附着作用，而被污染。特别是在非工作班未设值班工况时，因洁净空调系统停止运行而对周围环境无正压功能，由于扩散效应侵入室内空气中的污染粒子将沉降、附着到各个表面上。当无尘车间重新正常运行与工作时，未清洁这些表面，那么他们将成为无尘核减的有一个污染源。

处于工作状态的机器设备：

多年来，为了减少无尘车间人员产生的污染以及提高工作效率和精度的双重考虑，某些无尘车间采用更多的机器设备、机械手及其他自动化装置。实践过程中发现，这样固然减少了人员的污染因素，从一定程度上改善了无尘车间的状况。但运转中的机器设备由于润滑剂、机械磨损以及电器自控装置运行中产生的尘粒污染，又成为了受关注的问题。日本及西方工业国家对无尘车间常见的不同运转方式、不同速率、不同材质的机械设备的典型动作和某些电器的产尘进行了相应的试验研究，对无尘车间的机械、电器污染源给出了一些尘埃散发量的可参考数值，为无尘车间通风设计提供了计算依据。