任何设备都需要定期维护或临时维修。ISO 14644-5“运行篇“对此项工作的指导原则是：无论设备进行维护或维修时，都不能造成对无尘车间的污染。维护、维修工作完成后要清除设备外表面的污染，按工艺要求，必要时还要清除内表面的污染。

ISO 14644-5“运行篇“还推荐了”对固定设备进行维护时控制污染的措施及常规程序“：

1）如有可能，凡是要进行维修的设备应先移出无尘 车间再维修，以减少污染产生的可能性；

2）如果必要，应将需要维护的固定设备与周围的无尘室隔离开来，再进行主要的维护或维修。或者采取把所有正在制造的产品移往适当位置的措施。

3）与正在维护、维修设备相邻的无尘室区域，应当加强监控，以保证有效地控制污染。

4）在隔离区内进行维修、维护的工作人员，不应与无尘车间的生产或操作人员发生接触。

5）进入无尘车间的维护或维修人员，应遵循该洁净区的规范，包括穿着适当的工作服及维修完成后对该区和设备清洁应达到要求。

6）如果技术人员需要躺下或爬到设备下面去维修，应该先确定工作条件是否适宜，应在进行化学品、酸或生物危险品有效中和或适当处理后，再开始维修工作。

7）应采取措施保护维修人员的洁净服不接触到设备上的润滑油或工艺用化学品等污染物，还应避免洁净服被设备、工作的锐边撕裂、捅破。

8）进行维护或维修工作用的全部工具、工具箱、小车等，在进入无尘车间前都应彻底清洁，不允许带入任何锈蚀的工具。如果进入生物洁净室，则还可能要去灭菌或消毒。

9）维修技术人员应避免把工具、各种零配件、损坏的零部件或清洁用的工具材料等任何物品，放置在产品或工艺材料用的工作表面附近；

10）维修工作过程中应注意清洁，随时进行清洁工作，定期更换手套，避免因手套破损，维修人员的皮肤接触设备洁净表面的情况发生；

11）如果要求使用耐酸、耐热或耐切割型的非无尘室室手套，那么这些手套应符合无尘室要求或另套一副无尘室用手套。

12）如需进行钻、锯作业时，应使用专用的罩盖，把工具和进行钻、锯的区域遮蔽起来，同时使用无尘室真空除尘器，即使吸走扬尘。

13）在地面、墙面、设备侧板或其他表面钻孔后，留下的缝隙、孔洞，要采取密封措施，如用填料、粘合剂和特殊制造的板堵塞，以防止污染物经孔洞、缝隙扩散到无尘车间内。