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洁净室静电的危害及处理方法

2014-9-5 10:51:23      点击:
(1)的组成部分的绝缘性的氧化膜的击穿,引线烧断或保险丝。如果人的身体带来10KV(100PF)的静电荷,触摸屏设备脚ESD,地球的形成瞬间脉冲峰值放电电流可达20A(10〜100秒),更不用提高密度,细直径,薄SiO2薄膜的大规模集成电路,超大规模集成电路,IC,MOS也会遭受损伤。
  一般来说的移动设备的绝缘栅SiO2薄膜场强度E =(5-10)所述106V/cm的移动设备SiO 2膜的厚度为1000,施加到器件的输入引脚静态电压高于50V-100V的击落穿的耐压,并人体静电超过50V,100V是极不寻常。
 
  (2)引起的噪音,电磁干扰发射
  ESD引起的EMI电磁,频率范围前,后峰较尖,信号强,在电路中几伏的能量相当于几百MH2的MH2非常强烈的噪声可能会导致损坏的元件,设备和传感器不正常工作,甚至会导致设备崩溃。
  ESD引起的EMI也触发输入的误差信号或闩锁现象的发生。如洁净室,EMIF盒上的钢模台车的晶圆,晶片ESD将通过电感的车,车轮绝缘,EMI扩散的原因晶圆处理器崩溃。
 
  (3)冲击体
  ESD对人体或人体ESD当超过人体电击极限电流5mA或更多的人会产生各种伤害的人的感情,导致员工情绪不安,操作错误。
  洁净室半导体,平板显示器,光电,尽管做了很多工作,但洁净室的静电问题仍然影响着安全生产和产量,对生产成本和效益的影响,影响产品的质量和可靠性。国外业内专家估计,每年在美国造成的损失的产品由于静电8-33%,平均估计,每年在美国的价值高达10美元十亿静电损坏日本在20世纪80年代,为电子行业,电子产品报废的分析ESD造成的损失占全国的1/3。平板LCD,半导体,光电,有一个起步较晚,静电的危害时有发生,收益率越低。银行,证券公司,机密数据库,控制中心,电力调度室等,,如果ESD是很容易造成干扰,数据丢失,情况更为严重。