洁净室静电的危害及处理方法
2014-9-5 10:51:23 点击：
(1)的组成部分的绝缘性的氧化膜的击穿，引线烧断或保险丝。如果人的身体带来10KV(100PF)的静电荷，触摸屏设备脚ESD，地球的形成瞬间脉冲峰值放电电流可达20A(10〜100秒)，更不用提高密度，细直径，薄SiO2薄膜的大规模集成电路，超大规模集成电路，IC，MOS也会遭受损伤。
一般来说的移动设备的绝缘栅SiO2薄膜场强度E =(5-10)所述106V/cm的移动设备SiO 2膜的厚度为1000，施加到器件的输入引脚静态电压高于50V-100V的击落穿的耐压，并人体静电超过50V，100V是极不寻常。
(2)引起的噪音，电磁干扰发射
ESD引起的EMI电磁，频率范围前，后峰较尖，信号强，在电路中几伏的能量相当于几百MH2的MH2非常强烈的噪声可能会导致损坏的元件，设备和传感器不正常工作，甚至会导致设备崩溃。
ESD引起的EMI也触发输入的误差信号或闩锁现象的发生。如洁净室，EMIF盒上的钢模台车的晶圆，晶片ESD将通过电感的车，车轮绝缘，EMI扩散的原因晶圆处理器崩溃。
(3)冲击体
ESD对人体或人体ESD当超过人体电击极限电流5mA或更多的人会产生各种伤害的人的感情，导致员工情绪不安，操作错误。
洁净室半导体，平板显示器，光电，尽管做了很多工作，但洁净室的静电问题仍然影响着安全生产和产量，对生产成本和效益的影响，影响产品的质量和可靠性。国外业内专家估计，每年在美国造成的损失的产品由于静电8-33%，平均估计，每年在美国的价值高达10美元十亿静电损坏日本在20世纪80年代，为电子行业，电子产品报废的分析ESD造成的损失占全国的1/3。平板LCD，半导体，光电，有一个起步较晚，静电的危害时有发生，收益率越低。银行，证券公司，机密数据库，控制中心，电力调度室等，，如果ESD是很容易造成干扰，数据丢失，情况更为严重。
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