无尘车间内的尘源主要来自生产工艺设备运转中发尘、产品和材料运输过程中发尘、无尘室建筑内表面等的发尘和人员发尘。来自生产设备运转中的尘粒有的可通过局部排风装置排除，按无尘室的管理规定，产品和材料均应进行清洁，其在运送过程中的发尘量与人体发尘量相比是很少的。无尘室内表面只要严格按规定进行清扫，清洁，其发尘量也可以控制到很少。因此无尘车间的尘源主要来自操作人员的发尘，即使按规定对无尘室人员按“人净程序”进行人身净化，无尘车间内人员的产尘仍是主要污染源。在无尘生产环境内，工作人员的发尘量多少与其穿着的洁净工作服种类、形式和材质类型有关，与工作人员在无尘车间内的活动、动作的幅度等因素有关。

无尘车间内工作人员所散发的尘粒也包括口鼻等产生的微粒。曾经有学者对吸烟者呼气所发出的微粒进行测试盒调查，结果显示刚吸烟者的呼气中0.3~0.5um的微粒浓度较高。进入无尘车间的人员涂抹化妆品也是不适宜的，因其扩散到无尘车间的环境空气中，对产品质量造成很坏影响。

近年来，在超大规模集成电路生产中，随着高级别无尘室和微环境技术的采用，对一些实际的无尘车间内微粒来源的测试表明，人体发尘量在全部尘源中所占比例有所下降。生物洁净室（包括生物制药净化车间、食品和化妆品净化车间以及医院手术室等）还必须控制人体的发菌量。为尽量减少生物洁净室内人体的发菌量，应选用合适的洁净工作服。