工业洁净室以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对象，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样，洁净技术的诞生及最初应用是服务于军事目的的，第二次世界大战中一些枪炮、战车、飞机等使用的仪器合格率或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。最初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

       微电子行业是现代工业洁净室应用的代表。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展，随着集成度的增加，元件中的线宽不断缩小，因此对空气悬浮颗粒物的控制粒径也越来越小，一般认为控制粒径应当是线宽的1/10~1/3，但由于线宽越来越小，这一要求也难以达到了。微电子产品的迅速发展对传统的洁净技术提出了极大的挑战，同时也促进了现代洁净技术的发展。

       现代工业洁净室虽然仍以悬浮颗粒物为主要控制对象，但在某些工艺过程中对空气中分子态污染物（AMC）也提出了控制要求。因此，空气净化技术的关键设备也从单一的粒过滤器发展到可以吸附有害气态物质的化学过滤器器