无尘车间用的清洁器件与家庭或公共场所使用的清洁器虽然相似，但它们之间却有很大区别。例如，市场上销售的干刷子每分钟可产生5千万个大于等于0.5um的粒子，所以绝不能用干刷子清扫无尘车间。用于一般场所的线拖布也不能用于无尘车间，因为它每分钟产生的大于等于0.5um的粒子将近2千万个。也就是说，普通的清洁用具对于无尘车间来说非但不能有效的发挥清洁作用，往往反而是一个污染源。根据无尘车间常用的洁净方法，其相应的洁净用具有好几种，下面来介绍其中的干法真空与湿法真空系统：

干法真空吸尘器是一种普遍应用的清洁方式，费用相对较低，但要注意的是，其排气若未经可靠的过滤，则一定不能排在无尘室内，否则等于灰尘搬家，无尘车间空气将被污染。要解决这个问题，可以采用一个外置的中央真空源，将抽吸进来的含尘空气排到无尘车间外。或者在真空吸尘系统上安装一个带有高效或超高效过滤器的小型排风处理装置。该过滤器必须安装在马达的后面，以确保马达产生的粒子不会扩散到无尘室中。

湿法真空吸尘系统则要同时使用清洁剂，清洁剂可增加对表面附着粒子的拖拽力，所以湿法真空吸尘系统比干法真空吸尘系统的效率更高。湿法真空吸尘一般比湿拖布擦拭更为有效，因为使用它清洁后，无尘室地板上残留的待干液体更少，所以地板留下的污染物更少，并且地板干燥的时间也更短。但湿法真空吸尘系统常用于清洁紊流无尘室的地板，而不适合于清洁垂直单向流无尘室的通风格栅地板，因为清洁剂可能沿格栅间隙流到回风静压空间。