静电的危害和消除
静电的危害:
1、吸尘:生产过程中,由于静电吸附的作用,尘埃易吸附在器件和设备表面,影响产品质量,造成故障。
2、电晕放电:电晕放电时,往往伴随着电晕噪声,对收音机、通信机、微电子设备均会造成干扰。电晕放电会严重影响MOS电路和双极性集成电路的产品质量。
3、引起火灾或爆炸。
4、人体带静电会引起电击。
静电的消除:
静电是最难控制的因素之一,静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。时间证明,在半导体器件的制造和测试过程中、在运输和储存中、在设备的安装和调试以及使用过程中,半导体器件都可能受到静电的作用。因此,在半导体器件的生产中,实际上所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。
消除静电的方法有很多,对有防静电环境要求的无尘车间工程,常用以下几种方法:
1、选用合适的材料
采用不易产生静电或产生静电后能较快泄露的材料,多种材料共同使用时,应选用在电序列表中位置接近的材料。
2、接地
接地时带电导体消除静电最为普遍、经济、简便、可靠的方法。
3、中和
将带电体周围的空气离子化后,带电的离子在电磁场作用下发生迁移,带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。
4、湿度控制
在众多消除静电的方法中室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除无尘车间内的静电。通过在环境中保持高的相对湿度,在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层,利用这一薄层来提供导电的通道,使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。
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