洁净室的设备、器具及其他表面，某些要求较高的洁净室可能要求在清洁后进行洁净度测试，由洁净室用户选择合适的洁净度检测、验证方法，由用户确定能保证洁净室的产品和工艺质量的可接受的洁净度及其限制范围，ISO 14644标准建议在可能时，应通过实际测量来确定限值。

应该详细规定并实行常规的表面污染检查，以考核和保证清洁工作的有效性。

通常可以用目检技术来判定表面的洁净度。表面目视清洁，证明没有不用放大镜就能看到的污点。进行目检时，是否使用高强度白光或紫外线光源由用户自行决定。

用清洁的擦拭物擦拭检测表面，依据粘附在擦拭物表面的污染状况来判断表面清洁度，也是一种常用的检验方法。国外市场上供应有各种彩色擦拭物，针对性地用于检测某些类型的污染，也十分有效。

此外，其他可以考虑的检测表面粒子的方法还有：

1、黏胶带法

采用粘性胶带与被测表面接触，将粘附上被测表面粒子的胶带在生物显微镜下读值的方法。美国测试材料协会（ASTM）标准E 1216-87对此方法有详细的规定。

2、表面粒子检测法

采用表面粒子计数器来检测被测表面上的粒子尺寸与数量。此方法仪器不仅价格昂贵，而且现场使用时受到放置平面等条件的限制，在某些工艺对表面粒子敏感的洁净室使用。

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